單晶硅工藝使用自潔式空氣過濾器

產(chǎn)品概述

單晶硅生產(chǎn)對空氣質(zhì)量要求極高，自潔式空氣過濾器在單晶硅行業(yè)有重要應用，主要體現(xiàn)在以下方面：生產(chǎn)環(huán)境保障提供潔凈空氣：單晶硅生產(chǎn)過程中，晶體生長、切片、研磨等環(huán)節(jié)易受空氣中灰塵、顆粒等雜質(zhì)污染。自潔式空...

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單晶硅生產(chǎn)對空氣質(zhì)量要求極高，自潔式空氣過濾器在單晶硅行業(yè)有重要應用，主要體現(xiàn)在以下方面：

自潔式詳情-2

生產(chǎn)環(huán)境保障

提供潔凈空氣：單晶硅生產(chǎn)過程中，晶體生長、切片、研磨等環(huán)節(jié)易受空氣中灰塵、顆粒等雜質(zhì)污染。自潔式空氣過濾器安裝在生產(chǎn)車間的空調(diào)系統(tǒng)或通風系統(tǒng)中，可高效過濾空氣中的微小顆粒，為生產(chǎn)環(huán)境提供潔凈空氣，保證產(chǎn)品質(zhì)量。例如，在晶體生長爐附近，潔凈的空氣能防止雜質(zhì)附著在生長的單晶硅上，減少晶體缺陷。
維持穩(wěn)定溫濕度：自潔式空氣過濾器常與空調(diào)系統(tǒng)配合，在過濾空氣的同時，有助于維持車間內(nèi)穩(wěn)定的溫度和濕度。適宜的溫濕度環(huán)境對單晶硅生產(chǎn)設備的穩(wěn)定運行和產(chǎn)品質(zhì)量至關重要。如在切片過程中，穩(wěn)定的溫濕度可減少硅片因熱脹冷縮或受潮等因素產(chǎn)生的變形、裂片等問題。

設備保護

防止設備磨損：單晶硅生產(chǎn)中的真空泵、壓縮機等設備在運行時需要吸入大量空氣。自潔式空氣過濾器安裝在這些設備的進氣口處，可過濾掉空氣中的砂粒、金屬屑等硬質(zhì)顆粒，防止其進入設備內(nèi)部，避免設備的葉輪、活塞等運動部件因磨損而損壞，延長設備使用壽命，降低設備維護成本。
避免設備腐蝕：空氣中的酸性氣體、水汽等雜質(zhì)可能會對生產(chǎn)設備造成腐蝕。自潔式空氣過濾器中的過濾材料可有效吸附和過濾這些腐蝕性物質(zhì)，保護設備免受腐蝕，確保設備的正常運行和性能穩(wěn)定。例如，在清洗設備的通風系統(tǒng)中安裝自潔式空氣過濾器，可防止酸霧等腐蝕性氣體對設備外殼和內(nèi)部零部件的侵蝕。